ag
-A hAon/Dhá Dhoras
Tá fráma agus seomra déanta as cruach dhosmálta carbóin.
Soláthraíonn gach doras fuinneog iniúchta le haghaidh rialú amhairc an phróisis.Soláthraíonn ballaí an dorais línéar cruach dhosmálta a bhaintear go héasca le haghaidh cothabhála.
-Customized Seomra Fholúis
Soláthraíonn an seomra líneálacha cruach dhosmálta istigh go héasca le haghaidh glantacháin.
Seasann na caidéil ar a chuid cúil.
Tá sraith de flange beag ag an seomra chun críche tomhais.
-Córas caidéalaithe i bhfolús ard
Caidéal idirleathadh+Caidéal teanndáileog+Caidéal meicniúil
-Folúis a thomhas agus a rialú
Le tomhas miotail Pirani + tomhsaire Ionization miotail
-Daingneáin ag gluaiseacht córas
-PLC Aonad rialaithe
-Córas galú alúmanaim le claochladán ardchumhachta
-Fráma iarainn
Tá an struchtúr réasúnta
Tá ciseal an scannáin aonfhoirmeach
Cáilíocht foirmiú scannán
Luas caidéalaithe ard, timthriall oibre gearr agus éifeachtacht ard táirgeachta
Tá an oibríocht áisiúil
Tomhaltas íseal fuinnimh agus feidhmíocht chobhsaí
Uimhir Mhúnla | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Tá dhá dhoras nó samhail Dhá sheomra ar fáil | |
Toise an tseomra folúis (trastomhas * airde) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Ábhar an tseomra folúis | Cruach charbóin, SUS304 nó SUS316L | ||||||
Teicneolaíocht oibre | galú friotaíochta bhfolús le filiméid tungstain & alúmanaim, claochladán galú ardchumhachta | ||||||
Córas pumpála | Caidéal idirleathadh + caidéil mheicniúla, caidéal teanndáileog | ||||||
Am Pumpála | Ó atmaisféar go 5.0 * 10-2Pa níos lú ná 8 nóiméad | ||||||
Teorainn Fholúis | 5.0*10-4 in aghaidh na bliana | ||||||
Teocht oibre | Teocht an tseomra | ||||||
Modh oibre | Modh uathoibríoch nó láimhe, scáileán tadhaill 10.4 orlach PLC | ||||||
Cumhacht Iomlán | 40-80kW | 70-140kW | |||||
Lorg | 2*2 mhéadar | 2 * 3 méadar | 3*3 méadar | 3*3 méadar | 3*4 méadar | 4*5 méadar | 5*6 méadar |
Na haonaid seo is féidir leat saincheaptha a dhéanamh | 1. Méid seomra folúis 2. Cumraíochtaí caidéil | ||||||
Ionstraimí roghnacha | 1. Brathadóir sceite 3. Córas taisce ian stua 4. Córas sputtering Magntron |